[实用新型]一种PECVD主机台炉管清理装置

摘要

本实用新型公开了一种PECVD主机台炉管清理装置，属于太阳能电池制备技术领域，所述装置石英耙、柄部、固定螺丝；所述石英耙安装于柄部的一端，所述石英耙底部为弧形，与石英管弧度一致，所述石英耙左右为弧形，弧度大于辅热管弧度；采用石英耙，避免破坏炉管管壁膜层、管内氮化硅和氧化铝，而且石英耙的头部设计为弧形，规避了很多磕碰点，对设备及石英耙都有很好的保护，柄采用不锈钢材质，价格优惠便于购买且易加工，使用本实用新型的清理装置不仅能减少粉尘污染及硅片污染频次，有效提高产能，还能降低对石英管的破坏。