[实用新型]一种PECVD主机台炉管清理装置有效
| 申请号： | 202222174080.5 | 申请日： | 2022-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN218404399U | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 蔡兆勇;岳成武;杨灼坚 | 申请（专利权）人： | 江苏润阳世纪光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/50 | 分类号： | C23C16/50;H01J37/32 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 龚拥军 |
| 地址： | 224000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 主机 炉管 清理 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种PECVD主机台炉管清理装置，其特征在于，包括：石英耙、柄部；所述石英耙固定安装于柄部的一端，所述石英耙头部为弧形，与石英管弧度一致，所述石英耙左右为弧形，弧度大于辅热管弧度。
2.根据权利要求1所述的PECVD主机台炉管清理装置，其特征在于，所述石英耙的左右弧度半径为4cm，底部弧度半径26cm。
3.根据权利要求1或2所述的PECVD主机台炉管清理装置，其特征在于，所述石英耙头部的整体宽度为6cm，高6.81cm。
4.根据权利要求1或2所述的PECVD主机台炉管清理装置，其特征在于，所述石英耙头部延伸出10cm的柄，4-10cm间每隔2cm打一个对孔。
5.根据权利要求4所述的PECVD主机台炉管清理装置，其特征在于，所述柄部套在石英耙柄外用螺丝固定。
6.根据权利要求1或5所述的PECVD主机台炉管清理装置，其特征在于，所述柄部为不锈钢柄。
7.根据权利要求6所述的PECVD主机台炉管清理装置，其特征在于，所述不锈钢柄整体长320cm。
8.根据权利要求5所述的PECVD主机台炉管清理装置，其特征在于，所述螺丝采用金属螺丝。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
