[实用新型]一种PECVD主机台炉管清理装置

说明书

本实用新型公开了一种PECVD主机台炉管清理装置，属于太阳能电池制备技术领域，所述装置石英耙、柄部、固定螺丝；所述石英耙安装于柄部的一端，所述石英耙底部为弧形，与石英管弧度一致，所述石英耙左右为弧形，弧度大于辅热管弧度；采用石英耙，避免破坏炉管管壁膜层、管内氮化硅和氧化铝，而且石英耙的头部设计为弧形，规避了很多磕碰点，对设备及石英耙都有很好的保护，柄采用不锈钢材质，价格优惠便于购买且易加工，使用本实用新型的清理装置不仅能减少粉尘污染及硅片污染频次，有效提高产能，还能降低对石英管的破坏。

技术领域

本实用新型属于太阳能电池制备技术领域，尤其涉及一种PECVD主机台炉管清理装置。

背景技术

PECVD即等离子增强化学气相沉积，在太阳能电池生产制备过程中，用于太阳能电池表面沉积深蓝色减反膜。管式PECVD系统，即使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。管式PECVD石英管在长时间使用后或真空泵停机死机时，反应物沉积会在石英管管壁，造成粉尘堆积，在使用时粉尘将在腔体内流动，吸附在太阳能电池的表面，造成产品表面污染。目前，常用金属钢丝耙清理，金属耙会破坏炉管管壁膜层、管内氮化硅和氧化铝，易造成粉尘扬起，污染舟和硅片，且金属耙材质硬，极易损坏炉管内部热偶及石英管等备件。

发明内容

本实用新型提供了一种PECVD主机台炉管清理装置，采用石英耙，避免破坏炉管管壁膜层、管内氮化硅和氧化铝。

为实现以上目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种PECVD主机台炉管清理装置，包括：石英耙、柄部、固定螺丝；

所述石英耙包括耙柄和头部，头部固定于耙柄，所述石英耙头部为弧形，与石英管弧度一致，便于清洁碎片，所述石英耙头部左右为弧形，可便于清洁与辅热管交界处碎片，且弧度大于辅热管弧度，不易损坏辅热管；所述石英耙的整体宽度为6cm，高6.81cm，左右弧度半径为4cm，底部弧度半径26cm；

所述石英耙头部延伸出10cm的柄，4-10cm间每隔2cm打一个对孔，所述柄部套在石英耙柄的外面，用金属螺丝固定起来，便于与不锈钢柄固定，且损坏还能重复安装，调整长短；

所述柄部为不锈钢柄，整体长320cm，便于清洁炉管底部碎片；采用不锈钢材质，耐高温，不易损坏，降低成本，石英材质成本高，用不锈钢柄代替石英柄，很大程度降低了成本；固定螺丝采用金属螺丝，固定便捷，方便拆卸。

有益效果：本实用新型提供了一种PECVD主机台炉管清理装置，采用石英耙，避免破坏炉管管壁膜层、管内氮化硅和氧化铝，而且石英耙的头部设计为弧形，规避了很多磕碰点，对设备及石英耙都有很好的保护，柄采用不锈钢材质，价格优惠便于购买且易加工，使用本实用新型的清理装置不仅能减少粉尘污染及硅片污染频次，有效提高产能，还能降低对石英管的破坏。

附图说明

图1为本实用新型实施例中清理装置整体结构示意图；

图中，1为石英耙、2为不锈钢柄、3为固定螺丝。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明：

如图1所示，一种PECVD主机台炉管清理装置，包括：石英耙1、不锈钢柄2、固定螺丝3，石英耙1通过固定螺丝3安装于不锈钢柄2的一端；

石英耙1头部为弧形，与石英管弧度一致，便于清洁碎片，石英耙1头部左右为弧形，可便于清洁与辅热管交界处碎片，且弧度大于辅热管弧度，不易损坏辅热管；石英耙1的整体宽度为6cm，高6.81cm，左右弧度半径为4cm，底部弧度半径26cm；石英耙1头部延伸出10cm的柄，4-10cm间每隔2cm打一个对孔，不锈钢柄2套在石英耙柄的外面，用金属螺丝固定起来，便于与不锈钢柄固定，且损坏还能重复安装，调整长短；