[实用新型]用于覆膜固化的工装治具有效
申请号: | 202222093938.5 | 申请日: | 2022-08-10 |
公开(公告)号: | CN218241783U | 公开(公告)日: | 2023-01-06 |
发明(设计)人: | 蔡兆军;谷晓慧;戎闻;殷志杰 | 申请(专利权)人: | 天通瑞宏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/68;H01L21/687;H01L21/683;H01L21/603 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 季承 |
地址: | 314499 浙江省嘉兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型属于电子元器件封装技术领域,公开了一种用于覆膜固化的工装治具,包括覆膜层压机构和支撑机构。覆膜层压机构包括上覆板、底托板和多个层压板,多个层压板依次层叠,夹设于上覆板和底托板之间,相邻两个层压板中位于底部的层压板的上表面开设容置槽,位于顶部的层压板的下表面上设置有能够伸入容置槽内的定位凸台,覆膜后的基板夹设于容置槽的槽底与定位凸台之间;支撑机构包括壳体,壳体内设置容纳空间,覆膜层压机构放置于容纳空间中。该用于覆膜固化的工装治具的体积小,重量轻,空间利用率低,生产效率高且产能增大,有利于大规模生产。 | ||
搜索关键词: | 用于 固化 工装 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造