[实用新型]一种机械手臂用真空吸盘有效
| 申请号： | 202222087895.X | 申请日： | 2022-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN218082761U | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 彭炜棠;杜俊坤;林文浩 | 申请（专利权）人： | 合肥新汇成微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/06 | 分类号： | B25J15/06 |
| 代理公司： | 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 | 代理人： | 刘念 |
| 地址： | 230000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种机械手臂用真空吸盘，涉及真空吸盘技术领域，包括吸盘，所述吸盘的顶面圆心位置贯穿有圆柱腔，所述吸盘的侧面开设有卡槽，所述吸盘的底面靠近圆柱腔外围位置固定连接有凸面卡点；通过在吸盘设置的凸面卡点，在放真空时，凸面卡点会形成破真空排气管道，提高破真空效率，吸盘与集成电路芯片的晶圆背面会形成短暂的虹吸效应，虹吸效应会导致气体在圆柱腔内快速流动，而导致圆柱腔内压低，此时凸面卡点可以起到支撑作用，防止吸盘内陷，从而保证吸盘不会从机械手臂安装面脱落。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械 手臂 真空 吸盘 | ||
【主权项】：
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