[实用新型]一种机械手臂用真空吸盘

说明书

本实用新型公开了一种机械手臂用真空吸盘，涉及真空吸盘技术领域，包括吸盘，所述吸盘的顶面圆心位置贯穿有圆柱腔，所述吸盘的侧面开设有卡槽，所述吸盘的底面靠近圆柱腔外围位置固定连接有凸面卡点；通过在吸盘设置的凸面卡点，在放真空时，凸面卡点会形成破真空排气管道，提高破真空效率，吸盘与集成电路芯片的晶圆背面会形成短暂的虹吸效应，虹吸效应会导致气体在圆柱腔内快速流动，而导致圆柱腔内压低，此时凸面卡点可以起到支撑作用，防止吸盘内陷，从而保证吸盘不会从机械手臂安装面脱落。

技术领域

本实用新型涉及真空吸盘技术领域，具体涉及一种机械手臂用真空吸盘。

背景技术

在集成电路芯片表面溅镀金属膜前，需进行真空手臂传送进制程舱体做高压水清洗制程做业，在清洗完后由于真空手臂上的吸盘设计，会因特定晶圆变翘曲量变化导致机器臂上真空呈现闭环状况，如附图4所示，形成闭环后真空吸盘在释放真空时会发生虹吸效应，虹吸效应会导致气体在圆柱腔内快速流动，而导致圆柱腔内压低，吸盘会内陷，脱离与真空手臂的接触，造成真空异常或者真空吸盘脱落；

因此，需要一种机械手臂用真空吸盘，可以在放真空时，避免虹吸效应导致真空异常或者真空吸盘脱落。

实用新型内容

为了克服上述的技术问题，本实用新型的目的在于提供一种机械手臂用真空吸盘，通过在吸盘设置的凸面卡点，在放真空时，凸面卡点会形成破真空排气管道，提高破真空效率，吸盘与集成电路芯片的晶圆背面会形成短暂的虹吸效应，虹吸效应会导致气体在圆柱腔内快速流动，而导致圆柱腔内压低，此时凸面卡点可以起到支撑作用，防止吸盘内陷，从而保证吸盘不会从机械手臂安装面脱落。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种机械手臂用真空吸盘，包括吸盘，所述吸盘的顶面圆心位置贯穿有圆柱腔，所述吸盘的侧面开设有卡槽，所述吸盘的底面靠近圆柱腔外围位置固定连接有凸面卡点。

作为本实用新型进一步的方案：所述卡槽为圆环形。

作为本实用新型进一步的方案：所述凸面卡点的数量为若干个，若干所述凸面卡点呈圆环形等距排列，呈圆环形等距排列的凸面卡点可以保证吸盘的底面受力均匀，使吸盘在机械手臂安装面的安装槽内更加稳定。

作为本实用新型进一步的方案：所述吸盘的顶面为弧形凹面，调整弧形凹面的弧度，增大弧形凹面的面积。

作为本实用新型进一步的方案：所述吸盘的底部设有机械手臂安装面，所述机械手臂安装面的表面靠近吸盘的位置开设有与吸盘相互契合的安装槽，所述凸面卡点的底面与安装槽的底面接触。

本实用新型的有益效果：通过在吸盘设置的凸面卡点，在放真空时，凸面卡点会形成破真空排气管道，提高破真空效率，吸盘与集成电路芯片的晶圆背面会形成短暂的虹吸效应，虹吸效应会导致气体在圆柱腔内快速流动，而导致圆柱腔内压低，此时凸面卡点可以起到支撑作用，防止吸盘内陷，从而保证吸盘不会从机械手臂安装面脱落。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型中吸盘的结构示意图；

图2是本实用新型中吸盘的俯视图；

图3是图2中A-A处的剖面图；

图4是现有技术中吸盘的结构示意图。

图中：1、吸盘；11、圆柱腔；12、卡槽；13、凸面卡点；2、机械手臂安装面；21、安装槽。

具体实施方式