[实用新型]一种具备双摆臂的固晶装置有效
| 申请号： | 202221926185.5 | 申请日： | 2022-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN217903091U | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 郑烽;郑晓颖;江利雄 | 申请（专利权）人： | 广东先捷电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 522021 广东省揭阳市榕城*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具备双摆臂的固晶装置，涉及到半导体晶圆封装技术领域，包括摆臂机构、扩晶机构、视觉检测器、物料传输机构、X/Y轴自动滑台、支撑机座、固晶工作台、顶针座和基座组成；其固晶工作台的两侧各安装有一组所述摆臂机构和扩晶机构，扩晶机构上方设置有视觉检测器，下方设置有顶针座，摆臂机构固定连接在支撑机座上；通过在单台设备上配备双摆臂机构实现同步或异步的高速往复拾取和放置芯片操作，提高了半导体生产效率，同时避免固晶工艺上加热带来的各种不良后果，提高了产品质量，减少成本支出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具备 双摆臂 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
