[实用新型]一种具备双摆臂的固晶装置

权利要求书

1.一种具备双摆臂的固晶装置，其特征在于：该固晶装置包括摆臂机构(1)、扩晶机构(2)、视觉检测器A(3)、物料传输机构(4)、X/Y轴自动滑台(5)、支撑机座(6)、固晶工作台(7)、顶针座(8)和基座(9)；所述物料传输机构(4)联接在所述基座(9)的水平中心线上；所述固晶工作台(7)与所述的物料传输机构(4)处于同一水平线上；所述固晶工作台(7)的两侧各安装有一组所述摆臂机构(1)和扩晶机构(2)，所述摆臂机构(1)固定连接在支撑机座(6)上，双摆臂机构(1)进行同步或异步取晶操作；所述扩晶机构(2)的上方设置有一视觉检测器A(3)，下方设置有一顶针座(8)，所述视觉检测器A(3)连接在所述支撑机座(6)上，所述扩晶机构(2)连接着所述X/Y轴自动滑台(5)；所述固晶工作台(7)、支撑机座(6)、X/Y轴自动滑台(5)和顶针座(8)均安装在所述基座(9)上。

2.根据权利要求1所述的一种具备双摆臂的固晶装置，其特征在于，所述固晶工作台(7)两侧分布的扩晶机构(2)呈现水平镜像分布，所述扩晶机构(2)通过连接的X/Y轴自动滑台(5)进行空间方向移动，下方的顶针座(8)顶起所述扩晶机构(2)上的晶圆，由所述摆臂机构(1)进行取晶。

3.根据权利要求1所述的一种具备双摆臂的固晶装置，其特征在于，所述固晶工作台(7)上设置有一用于固晶后进行晶圆位置识别判定的视觉检测器B(10)，该视觉检测器B(10)与其中的一所述支撑机座(6)进行联接固定。

4.根据权利要求1所述的一种具备双摆臂的固晶装置，其特征在于，所述固晶工作台(7)上设置有加热模块和点胶模块，用于对不同材质的晶圆和框架进行结合，由所述摆臂机构(1)取晶后通过加热或点胶进行黏附在框架上，完成固晶操作。

5.根据权利要求4所述的一种具备双摆臂的固晶装置，其特征在于，所述固晶工作台(7)上设置的加热模块有若干个，具备多段升温机制，固晶工作台(7)在框架进料过程逐级升温预热，保证晶圆和框架结合时的热膨胀系数一致。

6.根据权利要求1所述的一种具备双摆臂的固晶装置，其特征在于，所述物料传输机构(4)上设置有卷带进料轴(11)和薄膜收料轴(12)，均由电机驱动进料和收料，卷带进料轴(11)用于对不同卷带式的贴片框架和插件框架进行安装进料，薄膜收料轴(12)用于收取卷带式框架上的保护膜。

7.根据权利要求1所述的一种具备双摆臂的固晶装置，其特征在于，所述扩晶机构(2)、扩晶机构上方设置的视觉检测器A(3)和下方设置的顶针座(8)呈现垂直的三点一线分布。

8.根据权利要求1所述的一种具备双摆臂的固晶装置，其特征在于，所述摆臂机构(1)的末端由支撑机座(6)上的电机驱动进行水平180度旋转，在所述扩晶机构(2)上进行取晶，旋转至固晶工作台(7)上完成粘晶。

9.根据权利要求1所述的一种具备双摆臂的固晶装置，其特征在于，所述摆臂机构(1)尖端安装有取晶用的吸嘴，该吸嘴根据不同的晶圆材质可进行更换电木吸嘴或橡胶吸嘴。