[实用新型]一种二极管元胞

摘要

本实用新型提供的一种二极管元胞，包括若干元胞；若干元胞的N+衬底、背面金属层、正面金属层连接为一体，N+衬底的背面和正面分别与背面金属层和势垒接触，势垒的正面中部加工有MOS沟道，若干元胞的MOS沟道相互连接，所述正面金属层将势垒的正面覆盖且其连两端分别与势垒的基极和栅极接触。本实用新型采用多元胞并联结构，大大提高了导通电阻；采用多层金属布局，避免了超薄栅氧在键合过程中受到的键合应力损伤，提升了产品良率和可靠性，金属层同时起了散热器的功能，改善了产品的散热效果；通过多个元胞内的少子势垒降低了二极管在高频率开关过程中的导通损耗。