[实用新型]一种碳化硅晶体炉有效
| 申请号： | 202221506155.9 | 申请日： | 2022-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN217399047U | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 李晓萍;张子轩;刘洋;薛飞 | 申请（专利权）人： | 北京精仪天和智能装备有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人： | 张旭东 |
| 地址： | 101300 北京市顺义*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型适用于三代半导体原料制备装置领域，提供了一种碳化硅晶体炉，包括主炉室、炉盖以及底座，所述炉盖盖合在主炉室上，且所述主炉室放置在底座上，还包括：炉盖提升系统，与炉盖连接，所述炉盖提升系统用于实现炉盖的升降；坩埚吊装系统，与底座连接，采用软轴卷扬结构，用于实现坩埚的吊装；坩埚升降系统，包括滚柱丝杠传动机构以及坩埚轴中空水冷结构；隔热系统，包括上隔热板、隔热腔以及下隔热板，且上隔热板、隔热腔以及下隔热板共同组成一个中空的圆柱腔；加热系统，包括加热电极、电极连接板以及分体式加热器；本实用新型实施例提供的一种碳化硅晶体炉，该装置结构简单，安全性能好，易于维修和保养。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶体 | ||
【主权项】：
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