[实用新型]一种半导体设备ICP装置陶瓷部件液洗保护治具有效
| 申请号： | 202220803054.1 | 申请日： | 2022-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN217043711U | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 周毅;贺贤汉;阮安俊 | 申请（专利权）人： | 安徽富乐德科技发展股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 244000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体设备ICP装置陶瓷部件液洗保护治具，包括上盖板和夹板，所述上盖板顶面设有拉手，工作面设有O形密封圈和定位PIN，所述的夹板上设有盲孔，盲孔与定位PIN相适配，双片式PP夹紧机构来夹紧陶瓷部件的环面，利用锁紧装置来锁紧陶瓷部件至部件环面完全被夹紧；定位PIN式定位方式保证了上盖板盖在产品上时O型圈与产品完全同心而不会错位；C型夹夹紧装置保证了O型圈在工作状态是完全压紧起到密封效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 icp 装置 陶瓷 部件 保护 | ||
【主权项】：
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