[实用新型]一种半导体设备ICP装置陶瓷部件液洗保护治具有效
| 申请号： | 202220803054.1 | 申请日： | 2022-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN217043711U | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 周毅;贺贤汉;阮安俊 | 申请（专利权）人： | 安徽富乐德科技发展股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 244000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 icp 装置 陶瓷 部件 保护 | ||
【权利要求书】：
1.一种半导体设备ICP 装置陶瓷部件液洗保护治具，其特征是：包括上盖板（1）和夹板（3），所述上盖板（1）顶面设有拉手（2），工作面设有O形密封圈和定位PIN（4），所述的夹板（3）上设有盲孔（5），盲孔（5）与定位PIN（4）相适配。
2.根据权利要求1所述的一种半导体设备ICP 装置陶瓷部件液洗保护治具，其特征是：所述夹板（3）是一个卡箍，通过连接块（6）连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体设备ICP 装置陶瓷部件液洗保护治具，其特征是：所述夹板（3）内径大于O型密封圈的外径。
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