[实用新型]一种半导体设备ICP装置陶瓷部件液洗保护治具

说明书

本实用新型公开了一种半导体设备ICP装置陶瓷部件液洗保护治具，包括上盖板和夹板，所述上盖板顶面设有拉手，工作面设有O形密封圈和定位PIN，所述的夹板上设有盲孔，盲孔与定位PIN相适配，双片式PP夹紧机构来夹紧陶瓷部件的环面，利用锁紧装置来锁紧陶瓷部件至部件环面完全被夹紧；定位PIN式定位方式保证了上盖板盖在产品上时O型圈与产品完全同心而不会错位；C型夹夹紧装置保证了O型圈在工作状态是完全压紧起到密封效果。

技术领域

本实用新型涉及一种半导体设备ICP 装置陶瓷部件液洗保护治具。

背景技术

目前在对半导体设备ICP装置陶瓷部件进行洗净再生过程中，会用到化学药剂浸洗这一工序，因陶瓷有一面有线路连接不能接触化学药剂，而另一面需要浸泡到药剂中，所以目前常规的方式是用少量的药剂来浸泡陶瓷部件的一个端面，另一面则露出液面以上，这种方法对作业者的要求很高，稍有疏忽就易造成另一面也接触到药剂导致整个陶瓷内部线路报废。

实用新型内容

针对以上问题，我们设计了一种半导体设备ICP装置陶瓷部件液洗保护治具。

本实用新型采用的技术方案是：一种半导体设备ICP 装置陶瓷部件液洗保护治具，包括上盖板和夹板，所述上盖板顶面设有拉手，工作面设有O形密封圈和定位PIN，所述的夹板上设有盲孔，盲孔与定位PIN相适配。

作为本实用新型的进一步改进，夹板是一个卡箍，通过连接块连接。

作为本实用新型的进一步改进，夹板内径大于O型密封圈的外径。

本实用新型的有益效果是：1.双片式PP夹紧机构来夹紧陶瓷部件的环面，利用锁紧装置来锁紧陶瓷部件至部件环面完全被夹紧；2.定位PIN式定位方式保证了上盖板盖在产品上时O型圈与产品完全同心而不会错位；3.C型夹夹紧装置保证了O型圈在工作状态是完全压紧起到密封效果。

附图说明

图1是本实用新型的示意图； 图2是本实用新型的俯视图；

图3是本实用新型的效果图。

图中，1上盖板，2拉手，3夹板，4定位PIN，5盲孔，6连接块。

具体实施方式

如图1-3所示，一种半导体设备ICP 装置陶瓷部件液洗保护治具，包括上盖板1和夹板3，所述上盖板1顶面设有拉手2，工作面设有O形密封圈和定位PIN4，所述的夹板3上设有盲孔5，盲孔5与定位PIN4相适配，夹板3是一个卡箍，通过连接块6连接，夹板3内径大于O型密封圈的外径。

工作原理：用左右夹板夹紧ICP装置陶瓷部件，两侧用锁紧螺栓锁紧固定住陶瓷部件，将O型圈装在上盖板上，上盖板沿定位销钉孔盖在陶瓷部件表面，利用四个C型夹夹紧部件与上盖板至O型圈所在面完全密封，然后将部件与治具放入有适当药液的子槽中，浸泡一段时间后取出卸下治具。

以上对本实用新型的实施方式作了说明，但是本实用新型不限于上述实施方式，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下做出各种变化。