[实用新型]一种芯片清洗设备循环过滤装置有效
| 申请号： | 202220651121.2 | 申请日： | 2022-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN216857598U | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 潘超;杨辉;徐东;倪瑞 | 申请（专利权）人： | 淮安澳洋顺昌光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/14 | 分类号： | B08B3/14;H01L21/67 |
| 代理公司： | 淮安市科文知识产权事务所 32223 | 代理人： | 谢观素 |
| 地址： | 223001 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种芯片清洗设备循环过滤装置，包括设置在芯片清洗设备机台内的去胶清洗槽、通过管道一和管道二与去胶清洗槽连通的密封过滤罐，密封过滤罐内设有过滤网；所述管道一连通去胶清洗槽底部和密封过滤罐顶部，所述管道二连通密封过滤罐底部和去胶清洗槽顶部；管道二上设有循环泵。循环泵工作，使去胶清洗槽中的清洗液通过底部的管道一流入密封过滤罐，经过滤网过滤杂质后，清洗液在通过管道二流入去胶清洗槽中，继续对晶片进行清洗。由此实现对去胶清洗槽内清洗液杂质的过滤，提升清洗液的寿命、提升去胶能力。颗粒物杂质堆积在密封过滤罐中，避免排液管堵塞提升设备稼动率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 清洗 设备 循环 过滤 装置 | ||
【主权项】：
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