[实用新型]一种芯片清洗设备循环过滤装置有效
| 申请号： | 202220651121.2 | 申请日： | 2022-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN216857598U | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 潘超;杨辉;徐东;倪瑞 | 申请（专利权）人： | 淮安澳洋顺昌光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/14 | 分类号： | B08B3/14;H01L21/67 |
| 代理公司： | 淮安市科文知识产权事务所 32223 | 代理人： | 谢观素 |
| 地址： | 223001 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 清洗 设备 循环 过滤 装置 | ||
1.一种芯片清洗设备循环过滤装置，其特征在于：包括设置在芯片清洗设备机台内的去胶清洗槽（1）、通过管道一（2）和管道二（6）与去胶清洗槽（1）连通的密封过滤罐（3），密封过滤罐（3）内设有过滤网（37）；所述管道一（2）连通去胶清洗槽（1）底部和密封过滤罐（3）顶部，所述管道二（6）连通密封过滤罐（3）底部和去胶清洗槽（1）顶部；管道二（6）上设有循环泵（4）。
2.根据权利要求1所述的一种芯片清洗设备循环过滤装置，其特征在于：所述密封过滤罐（3）上端为可打开的密封盖（31），密封盖（31）的周圈设有与密封过滤罐罐体（32）上端开口契合的环形凹槽（34）；密封盖（31）周圈设有若干锁紧扣（33）。
3.根据权利要求2所述的一种芯片清洗设备循环过滤装置，其特征在于：所述环形凹槽（34）内嵌有密封圈（35）。
4.根据权利要求2所述的一种芯片清洗设备循环过滤装置，其特征在于：所述密封盖（31）上设有把手（36）。
5.根据权利要求2所述的一种芯片清洗设备循环过滤装置，其特征在于：所述密封过滤罐罐体（32）内设有限位块（38），过滤网（37）放置在限位块（38）上，过滤网（37）上设有提绳（37.1）。
6.根据权利要求2所述的一种芯片清洗设备循环过滤装置，其特征在于：所述密封过滤罐（3）位于芯片清洗设备机台外。
7.根据权利要求2所述的一种芯片清洗设备循环过滤装置，其特征在于：所述密封过滤罐罐体（32）上设有泄压阀（7）。
8.根据权利要求2所述的一种芯片清洗设备循环过滤装置，其特征在于：所述密封过滤罐（3）底部与管道二（6）之间、密封盖（31）与管道一（2）之间均通过螺纹管接头（39）连接。
9.根据权利要求1所述的一种芯片清洗设备循环过滤装置，其特征在于：所述管道二（6）上还设有液位感应器（5）。
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