[实用新型]一种半导体清洗剂生产用定量供料装置有效
| 申请号： | 202220496801.1 | 申请日： | 2022-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN217093336U | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 童晨;吴海燕;韩成强;孙元;陈桂红 | 申请（专利权）人： | 昆山晶科微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B01F35/71 | 分类号： | B01F35/71;B01F35/83;B01F35/12;B01F101/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体清洗剂生产用定量供料装置，包括底座、拼接式储箱、升降式刮料机构和抽吸进料机构；拼接式储箱包括上箱体和下箱体，下箱体设置在底座上表面，且上箱体和下箱体可拆卸安装在一起，升降式刮料机构包括升降驱动装置、驱动轴和刮板，抽吸进料机构包括负压抽吸泵和负压管，负压抽吸泵设置在底座的底部下方，且负压管与负压抽吸泵的连接处安装有计量控制阀，本实用新型采用的拼接式储箱能方便拆卸清洗，在与升降式刮料机构配合使用时能将对拼接式储箱内的原料进行刮壁处理，进而避免了原料浪费，且通过抽吸进料机构能向生产装置进行定量投料，相较于现有中的投料装置具有较高的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 洗剂 生产 定量 供料 装置 | ||
【主权项】：
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