[实用新型]一种半导体清洗剂生产用定量供料装置

权利要求书

1.一种半导体清洗剂生产用定量供料装置，其特征在于，包括底座、拼接式储箱、升降式刮料机构和抽吸进料机构；

所述拼接式储箱包括上箱体和下箱体，所述下箱体设置在底座上表面，且所述上箱体和下箱体可拆卸安装在一起，且所述上箱体的顶部设置有投料口，所述下箱体的底部设置有排料口；

所述升降式刮料机构包括升降驱动装置、驱动轴和刮板，所述升降驱动装置设置在上下箱体的顶部中心，且所述驱动轴的一端与升降驱动装置的驱动端连接，另一端伸进上箱体内部与刮板连接；

所述抽吸进料机构包括负压抽吸泵和负压管，所述负压抽吸泵设置在底座的底部下方，所述负压管的一端与下箱体的排料口连接，另一端与穿过底座与负压抽吸泵的抽吸端连接，且所述负压管与负压抽吸泵的连接处安装有计量控制阀。

2.根据权利要求1所述的一种半导体清洗剂生产用定量供料装置，其特征在于，所述上箱体的底部四周成型有插接块，所述下箱体的顶部四周成型有插接槽，在上箱体和下箱体进行组装时，所述插接块可插接在插接槽中。

3.根据权利要求1所述的一种半导体清洗剂生产用定量供料装置，其特征在于，所述上箱体的下部四周和下箱体的上部四周均设置有耳孔，且所述上箱体上的耳孔和下箱体上的耳孔可通过螺栓固定。

4.根据权利要求1所述的一种半导体清洗剂生产用定量供料装置，其特征在于，所述刮板与驱动轴之间斜向连接有若干个加强柱。

5.根据权利要求1所述的一种半导体清洗剂生产用定量供料装置，其特征在于，所述升降驱动装置为驱动液压缸。