[实用新型]一种半导体清洗剂生产用定量供料装置有效

专利信息
申请号: 202220496801.1 申请日: 2022-03-07
公开(公告)号: CN217093336U 公开(公告)日: 2022-08-02
发明(设计)人: 童晨;吴海燕;韩成强;孙元;陈桂红 申请(专利权)人: 昆山晶科微电子材料有限公司
主分类号: B01F35/71 分类号: B01F35/71;B01F35/83;B01F35/12;B01F101/24
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 洗剂 生产 定量 供料 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种半导体清洗剂生产用定量供料装置,包括底座、拼接式储箱、升降式刮料机构和抽吸进料机构;拼接式储箱包括上箱体和下箱体,下箱体设置在底座上表面,且上箱体和下箱体可拆卸安装在一起,升降式刮料机构包括升降驱动装置、驱动轴和刮板,抽吸进料机构包括负压抽吸泵和负压管,负压抽吸泵设置在底座的底部下方,且负压管与负压抽吸泵的连接处安装有计量控制阀,本实用新型采用的拼接式储箱能方便拆卸清洗,在与升降式刮料机构配合使用时能将对拼接式储箱内的原料进行刮壁处理,进而避免了原料浪费,且通过抽吸进料机构能向生产装置进行定量投料,相较于现有中的投料装置具有较高的实用性。

技术领域

本实用新型涉及半导体清洗剂生产用设备,尤其涉及一种半导体清洗生产用定量供料装置。

背景技术

半导体清洗剂,是一种用于清洁半导体表面污物的试剂,其一般是由多种溶剂原料和固体原料混合在一起,因此,半导体清洗剂在生产时,需要将各个原料混合在一起,并进行搅拌混合处理。

在生产装置进行搅拌混合前需向其内部定量投入各种原料,由于这些原料中有部分原料具有粘稠性,所以相关的原料存储设备就无法快速的进行下料,且在存储过程中还会有大量的原料粘附在原料储存设备的内壁,从而造成了大量的浪费。

实用新型内容

实用新型目的:为了解决背景技术中存在的不足,所以本实用新型公开了一种半导体清洗剂生产用定量供料装置。

技术方案:一种半导体清洗剂生产用定量供料装置,包括底座、拼接式储箱、升降式刮料机构和抽吸进料机构;

所述拼接式储箱包括上箱体和下箱体,所述下箱体设置在底座上表面,且所述上箱体和下箱体可拆卸安装在一起,且所述上箱体的顶部设置有投料口,所述下箱体的底部设置有排料口;

所述升降式刮料机构包括升降驱动装置、驱动轴和刮板,所述升降驱动装置设置在上下箱体的顶部中心,且所述驱动轴的一端与升降驱动装置的驱动端连接,另一端伸进上箱体内部与刮板连接;

所述抽吸进料机构包括负压抽吸泵和负压管,所述负压抽吸泵设置在底座的底部下方,所述负压管的一端与下箱体的排料口连接,另一端与穿过底座与负压抽吸泵的抽吸端连接,且所述负压管与负压抽吸泵的连接处安装有计量控制阀。

进一步的是,所述上箱体的底部四周成型有插接块,所述下箱体的顶部四周成型有插接槽,在上箱体和下箱体进行组装时,所述插接块可插接在插接槽中。

进一步的是,所述上箱体的下部四周和下箱体的上部四周均设置有耳孔,且所述上箱体上的耳孔和下箱体上的耳孔可通过螺栓固定。

进一步的是,所述刮板与驱动轴之间斜向连接有若干个加强柱。

进一步的是,所述升降驱动装置为驱动液压缸。

本实用新型实现以下有益效果:

本实用新型采用的拼接式储箱能方便拆卸清洗,在与升降式刮料机构配合使用时能将对拼接式储箱内的原料进行刮壁处理,进而避免了原料浪费,且通过抽吸进料机构能向生产装置进行定量投料,相较于现有中的投料装置具有较高的实用性。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分,示出了符合本公开的实施例,并于说明书一起用于解释本公开的原理。

图1为本实用新型公开的整体结构示意图;

图2为本实用新型公开的拼接式储箱的分离结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。

实施例

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山晶科微电子材料有限公司,未经昆山晶科微电子材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202220496801.1/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top