[实用新型]一种磷化铟半导体晶片边形观察装置

摘要

本实用新型涉及磷化铟半导体晶片边形观察技术领域，尤其涉及一种磷化铟半导体晶片边形观察装置。其技术方案包括：底座，底座的顶部固定安装有保护罩，且保护罩内部的两侧皆固定安装有第一电动滑轨，第一电动滑轨上设有第二电动滑轨，且第二电动滑轨上设有控制电机，控制电机的输出端设有放置台。本实用新型通过设置第一滑轨与第二滑轨、控制电机配合，可以在装置对晶片观察时的位置进行自动调节控制，同时可以对晶片观察时的方向进行旋转，提高了装置的实用性，设置观察镜头与观察控制机、显示屏配合，可以对通过电子镜头对晶片进行观察，同时可以对观察时的焦距进行调节控制，增加了装置的功能性，扩大了适用范围。