[实用新型]一种磷化铟半导体晶片边形观察装置有效
| 申请号： | 202220406667.1 | 申请日： | 2022-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN217084700U | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 王嘉伟;喻会平;战泽兴;黄飞;徐荣荣 | 申请（专利权）人： | 山东欧思特新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 253000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磷化 半导体 晶片 观察 装置 | ||
1.一种磷化铟半导体晶片边形观察装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定安装有保护罩(3)，且保护罩(3)内部的两侧皆固定安装有第一电动滑轨(10)，所述第一电动滑轨(10)上设有第二电动滑轨(11)，且第二电动滑轨(11)上设有控制电机(12)，所述控制电机(12)的输出端设有放置台(13)，所述保护罩(3)的顶部固定安装有电动推杆(6)，且电动推杆(6)的输出端固定安装有观察控制机(15)，所述观察控制机(15)的底部固定安装有观察摄像头(1501)，所述保护罩(3)正面的上方固定安装有显示屏(5)，且底座(1)内部的一侧固定安装有控制主机(8)，所述控制主机(8)的一侧固定安装有PLC控制器(9)，所述显示屏(5)的下方活动安装有闭合门(4)。
2.根据权利要求1所述的一种磷化铟半导体晶片边形观察装置，其特征在于：所述底座(1)顶部的一侧固定安装有控制摇杆(2)，且控制摇杆(2)的一侧固定安装有操作按钮(201)。
3.根据权利要求1所述的一种磷化铟半导体晶片边形观察装置，其特征在于：所述闭合门(4)的正面固定安装有观察窗(401)，且观察窗(401)的一侧设有拉槽(402)。
4.根据权利要求1所述的一种磷化铟半导体晶片边形观察装置，其特征在于：所述观察控制机(15)的外部固定安装有固定架(1401)，且固定架(1401)的两侧皆固定安装有射灯(14)。
5.根据权利要求1所述的一种磷化铟半导体晶片边形观察装置，其特征在于：所述放置台(13)的顶部设有多组真空吸盘(1301)，且底座(1)内部的一侧固定安装有真空泵(7)。
6.根据权利要求1所述的一种磷化铟半导体晶片边形观察装置，其特征在于：所述底座(1)的背部固定安装有背板(101)，且背板(101)上设有多组通风孔(102)。
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