[实用新型]一种磷化铟半导体晶片边形观察装置

说明书

本实用新型涉及磷化铟半导体晶片边形观察技术领域，尤其涉及一种磷化铟半导体晶片边形观察装置。其技术方案包括：底座，底座的顶部固定安装有保护罩，且保护罩内部的两侧皆固定安装有第一电动滑轨，第一电动滑轨上设有第二电动滑轨，且第二电动滑轨上设有控制电机，控制电机的输出端设有放置台。本实用新型通过设置第一滑轨与第二滑轨、控制电机配合，可以在装置对晶片观察时的位置进行自动调节控制，同时可以对晶片观察时的方向进行旋转，提高了装置的实用性，设置观察镜头与观察控制机、显示屏配合，可以对通过电子镜头对晶片进行观察，同时可以对观察时的焦距进行调节控制，增加了装置的功能性，扩大了适用范围。

技术领域

本实用新型涉及磷化铟半导体晶片边形观察技术领域，具体为一种磷化铟半导体晶片边形观察装置。

背景技术

磷化铟是一种化学物质，是沥青光泽的深灰色晶体，2017年10月27日，世界卫生组织国际癌症研究机构公布的致癌物清单初步整理参考，磷化铟在2A类致癌物清单中，磷化铟半导体晶片在观察时需要用到观察装置。

经检索，专利公告号为CN 214703349 U公开一种半导体晶片边形观察装置，包括：平行光源、观察基座、反光镜以及显微镜，其中，所述平行光源被设置为发出水平的平行光；所述观察基座设置在所述反光镜和所述平行光源之间，并且所述观察基座的基面平行于所述水平的平行光，当将半导体晶片放置于所述观察基座的基面上时，所述观察基座被配置成使所述水平的平行光照亮所述半导体晶片的边缘的至少一个点；所述显微镜包括物镜，所述物镜竖直设置并且位于所述反光镜的上方；所述反光镜被配置成反射所述水平的平行光，并且将所述水平的平行光导向所述显微镜的物镜。

现有的磷化铟半导体晶片边形观察装置存在的缺陷是：

1、现有的磷化铟半导体晶片边形观察装置的结构较为简单，在观察时不具备对晶片进行自动移动的功能，只能通过工作人员手动进行操作，降低了装置的实用性；

2、同时现有的磷化铟半导体晶片边形观察装置的功能较为单一，多数是通过倍镜对晶片进行观察，在观察时无法对焦距进行调节的功能，降低了装置的实用性，为此我们提出一种磷化铟半导体晶片边形观察装置来解决现有的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种磷化铟半导体晶片边形观察装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种磷化铟半导体晶片边形观察装置，包括底座，所述底座的顶部固定安装有保护罩，且保护罩内部的两侧皆固定安装有第一电动滑轨，所述第一电动滑轨上设有第二电动滑轨，且第二电动滑轨上设有控制电机，所述控制电机的输出端设有放置台，所述保护罩的顶部固定安装有电动推杆，且电动推杆的输出端固定安装有观察控制机，所述观察控制机的底部固定安装有观察摄像头，所述保护罩正面的上方固定安装有显示屏，且底座内部的一侧固定安装有控制主机，所述控制主机的一侧固定安装有PLC控制器，所述显示屏的下方活动安装有闭合门。

使用本技术方案的一种磷化铟半导体晶片边形观察装置，放置台可以对晶片进行放置，同时通过第一电动滑轨与第二电动滑轨配合可以对晶片观察时的位置进行前后与左右移动，从而便于工作人员对晶片进行观察，同时通过控制电机可以对放置台进行转动，从而可以对放置的晶片进行旋转调节，保护罩可以对装置作业时进行闭合保护，避免了工作人员通过装置对晶片观察时外界因素造成干扰的情况，增加了装置使用时的稳定性，同时通过观察控制机与观察摄像头配合可以对晶片进行拍摄，同时可以对工作人员的实际情况对拍摄的焦距进行调节控制，提高了装置的实用性，同时通过控制主机可以对拍摄的画面进行显示，显示屏可以对观察控制机与观察摄像头拍摄的画面进行显示，从而便于工作人员进行观察，提高了装置的实用性，PLC控制器通过导线与第一电动滑轨、第二电动滑轨、控制电机连接，从而可以对其进行控制，闭合门可以对保护罩进行正面闭合。