[实用新型]一种真空腔室中机械手的安装装置有效
| 申请号： | 202220234479.5 | 申请日： | 2022-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN218428432U | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 刘锐;冯琳;高飞翔;田君一 | 申请（专利权）人： | 上海广川科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J19/00 | 分类号： | B25J19/00 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龙;吴世华 |
| 地址： | 200444 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种真空腔室中机械手的安装装置，包括：真空腔室，其顶端设置有第一开口，底端设置有第二开口；机械手，位于所述真空腔室内部，包括安装板；辅助组件，包括至少两个液压油缸，所述液压油缸竖直安装在所述安装板的底部，所述液压油缸连接至同一个控制油路，所述控制油路能够驱动所述液压油缸同步升降；其中，所述安装板的面积大于所述第二开口的面积。本实用新型提供的一种真空腔室中机械手的安装装置，能够精准控制机械手中安装板的下降高度，确保安装板与腔室底部始终平行，提高了真空腔室中机械手的安装效率，避免真空腔室底部在安装过程中被损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空腔 机械手 安装 装置 | ||
【主权项】：
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