[实用新型]一种真空腔室中机械手的安装装置

说明书

本申请公开了一种真空腔室中机械手的安装装置，包括：真空腔室，其顶端设置有第一开口，底端设置有第二开口；机械手，位于所述真空腔室内部，包括安装板；辅助组件，包括至少两个液压油缸，所述液压油缸竖直安装在所述安装板的底部，所述液压油缸连接至同一个控制油路，所述控制油路能够驱动所述液压油缸同步升降；其中，所述安装板的面积大于所述第二开口的面积。本实用新型提供的一种真空腔室中机械手的安装装置，能够精准控制机械手中安装板的下降高度，确保安装板与腔室底部始终平行，提高了真空腔室中机械手的安装效率，避免真空腔室底部在安装过程中被损坏。

技术领域

本实用新型属于机械手安装领域，具体属于一种真空腔室中机械手的安装装置。

背景技术

在半导体生产领域中，经常需要将机械手安装在真空腔室中，以实现其在真空环境下的操作。在安装机械手之前，通常在真空腔室的顶端和底端分别设置第一开口和第二开口，再采用龙门吊将机械手经过第一开口吊入真空腔体内，通过人为牵引配合使得机械手安装在第二开口处，实现机械手定位安装。

如附图1-2所示，为了确保真空腔室的密封性，通常会在第二开口与机械手之间设置O型密封圈。在安装机械手过程中，由于腔室体积有限，观察视线受限，在接近真空腔室底端的开口处时，机械手容易发生偏差，产生磕碰；同时，龙门吊采用柔性绳索捆绑，机械手重心无法精准捕捉，因此机械手与绳索的接触面可能会处于倾斜状态，此种情况下如果配合调整不当，很容易造成机械手单边过早接触O型密封圈，对O型密封造成局部过压，破坏真空腔室的密封性。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的问题之一。为此，本实用新型的目的在于提供一种真空腔室中机械手的安装装置，能够精准控制机械手中安装板的下降高度，确保安装板与腔室底部始终平行，提高了真空腔室中机械手的安装效率，避免真空腔室底部在安装过程中被损坏。

为了实现上述目的，本实用新型提出了如下技术方案：一种真空腔室中机械手的安装装置，包括：

真空腔室，其顶端设置有第一开口，底端设置有第二开口；

机械手，位于所述真空腔室内部，包括安装板；

辅助组件，包括至少两个液压油缸，所述液压油缸竖直安装在所述安装板的底部，所述液压油缸连接至同一个控制油路，所述控制油路能够驱动所述液压油缸同步升降；其中，所述安装板的面积大于所述第二开口的面积。

进一步的，还包括龙门吊，位于所述真空腔室的上方，连接所述安装板的顶部。

进一步的，所述龙门吊穿过第一开口连接所述安装板的顶端，且能够带动所述安装板进行升降。

进一步的，所述龙门吊通过三角吊具连接所述安装板的顶端。

进一步的，所述第二开口和安装板均为圆形结构，所述液压油缸均匀分布在圆形的安装板底部。

进一步的，所述液压油缸为三个，相邻的液压油缸之间间隔120°。

进一步的，所述安装板和第二开口之间设置有O型密封圈。

进一步的，所述机械手包括工作组件和固定组件，所述工作组件位于所述安装板上方，所述固定组件位于所述安装板下方。

进一步的，还包括用于密封第一开口的密封盖板。

本实用新型提供的上述技术方案与现有技术相比，具有如下优点：本申请通过同一个控制油路控制不同液压油缸同步下降，同时多个液压油缸连接至机械手中安装板的不同位置，进而确保安装板在下降过程中始终与真空腔室底板平行，确保安装板与真空腔室底板中第二开口面接触，避免真空腔室底板局部受力被损坏；通过该安装装置，可以提高真空腔室中机械手的安装效率，还能保护真空腔室的密封性不被破坏，进一步扩展了真空腔室的应用范围。

附图说明