[实用新型]一种真空腔室中机械手的安装装置有效
| 申请号： | 202220234479.5 | 申请日： | 2022-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN218428432U | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 刘锐;冯琳;高飞翔;田君一 | 申请（专利权）人： | 上海广川科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J19/00 | 分类号： | B25J19/00 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龙;吴世华 |
| 地址： | 200444 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 空腔 机械手 安装 装置 | ||
1.一种真空腔室中机械手的安装装置，其特征在于，包括：
真空腔室，其顶端设置有第一开口，底端设置有第二开口；
机械手，位于所述真空腔室内部，包括安装板；
辅助组件，包括至少两个液压油缸，所述液压油缸竖直安装在所述安装板的底部，所述液压油缸连接至同一个控制油路，所述控制油路能够驱动所述液压油缸同步升降；其中，所述安装板的面积大于所述第二开口的面积。
2.根据权利要求1所述的一种真空腔室中机械手的安装装置，其特征在于，还包括龙门吊，位于所述真空腔室的上方，连接所述安装板的顶部。
3.根据权利要求2所述的一种真空腔室中机械手的安装装置，其特征在于，所述龙门吊穿过第一开口连接所述安装板的顶端，且能够带动所述安装板进行升降。
4.根据权利要求2所述的一种真空腔室中机械手的安装装置，其特征在于，所述龙门吊通过三角吊具连接所述安装板的顶端。
5.根据权利要求1所述的一种真空腔室中机械手的安装装置，其特征在于，所述第二开口和安装板均为圆形结构，所述液压油缸均匀分布在圆形的安装板底部。
6.根据权利要求4所述的一种真空腔室中机械手的安装装置，其特征在于，所述液压油缸为三个，相邻的液压油缸之间间隔120°。
7.根据权利要求1所述的一种真空腔室中机械手的安装装置，其特征在于，所述安装板和第二开口之间设置有O型密封圈。
8.根据权利要求1所述的一种真空腔室中机械手的安装装置，其特征在于，所述机械手包括工作组件和固定组件，所述工作组件位于所述安装板上方，所述固定组件位于所述安装板下方。
9.根据权利要求1所述的一种真空腔室中机械手的安装装置，其特征在于，还包括用于密封第一开口的密封盖板。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海广川科技有限公司，未经上海广川科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202220234479.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种围巾式热奄包
- 下一篇：一种晶圆传输的对接装置及其形成的晶圆传输系统
