[实用新型]反射式MEMS芯片、光学系统和车辆有效
申请号: | 202220194081.3 | 申请日: | 2022-01-24 |
公开(公告)号: | CN216792585U | 公开(公告)日: | 2022-06-21 |
发明(设计)人: | 戈斌;郭田忠;朱明华 | 申请(专利权)人: | 华域视觉科技(上海)有限公司 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 徐叶馨 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本申请涉及一种反射式MEMS芯片、光学系统和车辆,本申请的反射式MEMS芯片包括:支架、驱动装置、至少一个活动片以及至少一个反射直板镜片;支架具有至少一个窗口;每个活动片具有第一固定端和第一自由端,第一固定端固定在支架上,第一自由端在活动片弯曲后能伸入窗口内;一个反射直板镜片连接于任一活动片背离支架的表面;每个反射直板镜片具有第二固定端和第二自由端,第二固定端与第一自由端连接,第二自由端在活动片弯曲后成悬空状态;驱动装置与各个活动片连接,并用于驱动各个活动片弯曲。故本申请不仅制造工艺简单,成本较低,而且可以较好地兼容低像素与高像素的全部光学系统需求。 | ||
搜索关键词: | 反射 mems 芯片 光学系统 车辆 | ||
【主权项】:
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