[实用新型]一种MEMS螺旋弹簧探针有效
| 申请号： | 202220179565.0 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN217561573U | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 钱晓晨;郭运帅 | 申请（专利权）人： | 苏州和林微纳科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人： | 丰叶 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS螺旋弹簧探针，包括顶部柱塞和弹簧套筒，弹簧套筒套设于顶部柱塞上，顶部柱塞包含导正部和针头部，导正部和针头部之间设有凹槽部，弹簧套筒包含第一非弹簧部、弹簧部和第二非弹簧部，第二非弹簧部卡设于凹槽部上，第一非弹簧部和弹簧部套设于导正部上，第二非弹簧部上沿着弹簧套筒的轴线方向开设有弹性开口。本实用新型的有益效果是：加工容易，装配方便，简化了装配工艺流程，提高生产效率，降低生产成本，减少不良风险；在同等空间内，可实现更高的弹力，能够适用于更小尺寸的芯片测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 螺旋弹簧 探针 | ||
【主权项】：
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