[实用新型]一种MEMS螺旋弹簧探针有效
| 申请号： | 202220179565.0 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN217561573U | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 钱晓晨;郭运帅 | 申请（专利权）人： | 苏州和林微纳科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人： | 丰叶 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mems 螺旋弹簧 探针 | ||
1.一种MEMS螺旋弹簧探针，其特征在于：包括顶部柱塞(1)和弹簧套筒(2)，所述弹簧套筒(2)套设于顶部柱塞(1)上，所述顶部柱塞(1)包含导正部(11)和针头部(12)，所述导正部(11)和针头部(12)之间设有凹槽部(13)，所述弹簧套筒(2)包含依次连接的第一非弹簧部(21)、弹簧部(22)和第二非弹簧部(23)，所述第二非弹簧部(23)卡设于凹槽部(13)上，所述第一非弹簧部(21)和弹簧部(22)套设于导正部(11)上，所述第二非弹簧部(23)上沿着弹簧套筒(2)的轴线方向开设有弹性开口(231)。
2.根据权利要求1所述的一种MEMS螺旋弹簧探针，其特征在于：所述导正部(11)、针头部(12)和凹槽部(13)均呈圆柱形结构设计，所述导正部(11)和针头部(12)的直径尺寸相同且大于凹槽部(13)的直径尺寸，所述弹簧套筒(2)呈圆筒形结构设计。
3.根据权利要求1所述的一种MEMS螺旋弹簧探针，其特征在于：所述针头部(12)的远离导正部(11)的端部呈圆锥形结构设计。
4.根据权利要求1所述的一种MEMS螺旋弹簧探针，其特征在于：所述第一非弹簧部(21)与弹簧部(22)的连接处设有第一连接部(24)，所述第二非弹簧部(23)与弹簧部(22)的连接处设有第二连接部(25)，所述第一连接部(24)和第二连接部(25)均为圆弧形凹槽结构。
5.根据权利要求1所述的一种MEMS螺旋弹簧探针，其特征在于：所述弹性开口(231)贯穿第二非弹簧部(23)，所述第二非弹簧部(23)的内壁上沿着弹性开口(231)的边缘设有锯齿形凸起。
6.根据权利要求1所述的一种MEMS螺旋弹簧探针，其特征在于：所述针头部(12)的靠近凹槽部(13)端沿着针头部(12)的圆周方向设有一圈圆台形凸起。
7.根据权利要求1所述的一种MEMS螺旋弹簧探针，其特征在于：所述顶部柱塞(1)和弹簧套筒(2)均采用一体成型结构设计。
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