[实用新型]照明单元以及半导体检测设备有效
| 申请号： | 202220136827.5 | 申请日： | 2022-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN216817136U | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 李轩;夏世伟;杰夫·贝克;杨立军;孟庆栋 | 申请（专利权）人： | 上海凯世通半导体股份有限公司;北京凯世通半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03B15/02 | 分类号： | G03B15/02;G03B15/06;H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人： | 吴凡 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国（*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种照明单元以及半导体检测设备，所述照明单元包括：发光结构，用于提供检测光；腔室，位于所述发光结构光路的底部，所述腔室具有供所述检测光通过的开口，所述腔室用于设置待检测晶圆；反光结构，在所述腔室中，且位于所述开口和晶圆之间，用于反射所述检测光至所述晶圆表面。本实用新型实施例提供的照明单元工作时，发光结构提供的检测光穿过所述腔室的开口，经反光结构能够精准的反射至晶圆边缘，使得晶圆边缘能够被照亮，便于确定晶圆在腔室中的位置，以及便于依据晶圆上的缺口位置确定晶圆的转角。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 单元 以及 半导体 检测 设备 | ||
【主权项】：
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