[发明专利]弹性波装置的制作方法、谐振器以及滤波器有效
| 申请号： | 202211733184.3 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN116073780B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 曹家强;王华磊;杜波;倪建兴 | 申请（专利权）人： | 锐石创芯（重庆）科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/13;H03H9/145 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 黄禹强 |
| 地址： | 400700 重庆市*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本申请提供一种弹性波装置的制作方法，提供一压电晶圆，压电晶圆具有第一区域和第二区域；在压电晶圆上形成第一光刻图形层，部分压电晶圆露出第一光刻图形层；在第一光刻图形层上以及露出的压电晶圆上形成第一金属膜；在第一金属膜上形成第二光刻图形层，位于第二区域内的第一金属膜露出第二光刻图形层；在第二光刻图形层上以及露出第二光刻图形层的第一金属膜上形成第二金属膜；剥离第一光刻图形层以及第二光刻图形层，以在第一区域形成第一电极图案，以及在第二区域形成第二电极图案。因此，通过上述制作方法形成的第二电极图案不存在套刻偏差，保证了形成的弹性波装置的性能。本申请还提供一种谐振器以及一种滤波器。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 装置 制作方法 谐振器 以及 滤波器 | ||
【主权项】：
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