[发明专利]弹性波装置的制作方法、谐振器以及滤波器

说明书

本申请提供一种弹性波装置的制作方法，提供一压电晶圆，压电晶圆具有第一区域和第二区域；在压电晶圆上形成第一光刻图形层，部分压电晶圆露出第一光刻图形层；在第一光刻图形层上以及露出的压电晶圆上形成第一金属膜；在第一金属膜上形成第二光刻图形层，位于第二区域内的第一金属膜露出第二光刻图形层；在第二光刻图形层上以及露出第二光刻图形层的第一金属膜上形成第二金属膜；剥离第一光刻图形层以及第二光刻图形层，以在第一区域形成第一电极图案，以及在第二区域形成第二电极图案。因此，通过上述制作方法形成的第二电极图案不存在套刻偏差，保证了形成的弹性波装置的性能。本申请还提供一种谐振器以及一种滤波器。

技术领域

本申请涉及射频技术领域，尤其涉及一种弹性波装置的制作方法、一种谐振器以及一种滤波器。

背景技术

弹性波装置利用声-电换能器的特征对压电基片表面上传播的声信号进行处理。弹性波装置具有成本低、体积小和功能多等优点，因此在雷达、通信、导航、识别等领域获得了广泛的应用。

弹性波装置上具有不同厚度的电极图案，以在弹性波装置内形成声速差，从而将声波能量约束在弹性波装置内部，提高了弹性波装置的品质因数值。现有技术中，形成不同厚度的电极图案需要两次光刻工艺，第一光刻工艺形成厚度1的电极图案，第二光刻工艺形成厚度2的电极图案。但是，第二次光刻工艺的曝光位置与第一次光刻工艺的曝光位置容易出现套刻偏移，形成的两个厚度的电极图案的形状、尺寸与相对位置不同于设计形状、尺寸与相对位置，进而致使弹性波装置不能很好地约束声波能量或不能约束声波能量，降低了弹性波装置的品质因数值以及性能。

因此，如何解决现有技术中形成弹性波装置的工艺存在的缺陷是亟待解决的问题。

发明内容

鉴于上述现有技术的不足，本申请的目的在于提供一种弹性波装置的制作方法、一种谐振器以及一种滤波器，其旨在解决现有技术中形成弹性波装置的工艺存在的缺陷导致弹性波装置的品质因数值降低的问题。

为解决上述技术问题，本申请实施例提供一种弹性波装置的制作方法，所述弹性波装置的制作方法包括：

提供一压电晶圆，所述压电晶圆至少具有第一区域和第二区域；

在所述压电晶圆上形成具有第一镂空图案和第二镂空图案的第一光刻图形层，所述第一镂空图案位于所述第一区域，所述第二镂空图案位于所述第二区域，所述第一镂空图案以及所述第二镂空图案使得部分所述压电晶圆露出所述第一光刻图形层；

在所述第一光刻图形层上以及露出所述第一光刻图形层的所述压电晶圆上形成具有第一厚度的第一金属膜；

在所述第一金属膜上形成具有开窗的第二光刻图形层，所述开窗位于所述第二区域，使得位于所述第二区域内的所述第一金属膜露出所述第二光刻图形层；

在所述第二光刻图形层上以及露出所述第二光刻图形层的所述第一金属膜上形成具有第二厚度的第二金属膜；

剥离所述第一光刻图形层以及所述第二光刻图形层，以在所述第一区域形成具有第一厚度的第一电极图案，以及在所述第二区域形成具有第三厚度的第二电极图案，其中，所述第三厚度为所述第一厚度与所述第二厚度之和。