[发明专利]一种半导体真空插板阀及其密封方法在审
| 申请号： | 202211728206.7 | 申请日： | 2022-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN115750821A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 张晓剑;胡开鹏;贾媛滢;宋铠钰;张智明;陈林 | 申请（专利权）人： | 四川九天真空科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K3/18 | 分类号： | F16K3/18;F16K3/02;F16K3/314;F16K41/10 |
| 代理公司： | 成都嘉企源知识产权代理有限公司 51246 | 代理人： | 何朝友 |
| 地址： | 637200 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体真空插板阀，阀杆包括外阀杆与内阀杆，外阀杆套设在内阀杆的外侧且与阀体活动密封连接；内阀杆与外阀杆均与驱动装置连接；阀体的内腔位于阀杆的外侧设置有波纹管组，波纹管组一侧与阀体连接另一侧与外阀杆上的连接板连接；阀芯组件包括阀板与阀芯架，阀板不与阀体的内腔的底部接触；阀芯架内设置有运动腔，运动腔两侧设置有开口；阀板的一侧固接有连接杆，连接杆与开口活动密封连接且连接杆的一侧穿过开口位于运动腔内，连接杆位于运动腔内的一侧设置有碟簧；内阀杆的一侧位于运动腔内部；运动腔内还设置有卡板，卡板一侧与连接杆连接，另一侧与内阀杆连接。通过这种设计能够防止插板阀污染晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 真空 插板 及其 密封 方法 | ||
【主权项】：
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