[发明专利]一种半导体真空插板阀及其密封方法

权利要求书

1.一种半导体真空插板阀，包括阀体(1)、阀杆与阀芯组件，其中阀体(1)上设置有进气口(2)与出气口(9)，阀杆用于推动阀芯组件封堵进气口(2)与出气口(9)，其特征在于：阀杆包括外阀杆(5)与内阀杆(4)，外阀杆(5)套设在内阀杆(4)的外侧且与阀体(1)活动密封连接；内阀杆(4)与外阀杆(5)均与驱动装置连接；

阀体(1)的内腔位于阀杆的外侧设置有波纹管组(6)，波纹管组(6)一侧与阀体(1)连接另一侧与外阀杆(5)上的连接板(7)连接；阀芯组件包括阀板(3)与阀芯架(11)，阀板(3)不与阀体(1)的内腔的底部接触；阀芯架(11)与外阀杆(5)上的连接板(7)固接，阀芯架(11)内设置有运动腔(12)，运动腔(12)两侧设置有开口；

阀板(3)的一侧固接有连接杆(10)，连接杆(10)与开口活动密封连接且连接杆(10)的一侧穿过开口位于运动腔(12)内，连接杆(10)位于运动腔(12)内的一侧设置有碟簧(16)；内阀杆(4)的一侧位于运动腔(12)内部；运动腔(12)内还设置有卡板(14)，卡板(14)一侧与连接杆(10)连接，另一侧与内阀杆(4)连接。

2.根据权利要求1所述的一种半导体真空插板阀，其特征在于：外阀杆(5)内设置有回位腔(18)，回位腔(18)内设置有弹簧(19)，弹簧(19)一侧与回位腔(18)的底部连接，另一侧与内阀杆(4)连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体真空插板阀，其特征在于：驱动装置采用气缸(21)，气缸(21)内设置有大活塞(20)与小活塞(22)，其中大活塞(20)与外阀杆(5)连接，小活塞(22)与内阀杆(4)连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体真空插板阀，其特征在于：阀板(3)的一侧设置有第一密封槽，第一密封槽内设置有密封圈(8)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体真空插板阀，其特征在于：阀芯架(11)上位于开口位置处的外侧设置有导向筒(15)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体真空插板阀，其特征在于：外阀杆(5)的内部靠近底部的位置处设置有第二密封槽，第二密封槽内设置有密封环(17)。

7.根据权利要求1所述的一种半导体真空插板阀，其特征在于：内阀杆(4)靠近底部的位置设置有截面为直角三角形的卡槽，卡板(14)一侧卡接在卡槽内。

8.一种半导体真空插板阀密封方法，其特征在于：包括一级密封方法、二级密封方法与三级密封方法；

一级密封方法：阀体(1)内的波纹管组(6)与阀体(1)内的顶部固定密封连接，波纹管组(6)的底部与外阀杆(5)上的连接板(7)固定密封连接，阀体(1)顶部、波纹管组(6)与连接板(7)构成了一级密封空间，其中外阀杆(5)与阀体(1)发生相对运动的位置位于一级密封空间中且外阀杆(5)与内阀杆(4)发生相对运动的位置位于一级密封空间中；

二级密封方法：阀芯架(11)内部的动作腔(12)形成了第二密封空间，并且，阀板(3)通过连接杆(10)与卡板(14)连接，内阀杆(4)与阀板(3)通过连接杆(10)与卡板(14)连接，内阀杆(4)与卡板(14)活动连接，内阀杆(4)的移动能够推动卡板(14)靠近或者远离连接杆(10)；第二密封空间用于将内阀杆(4)与卡板(14)的连接处包裹起来，同时将卡板(14)与连接杆(10)的连接处包裹起来；

三级密封方法：外阀杆(5)带动阀芯架(11)向阀体(1)底部移动时，移动至波纹管组(6)伸长到极限长度，内阀杆(4)向下运动，内阀杆(4)向下运动挤压卡板(14)使得卡板(14)发生转动，转动后的卡板(14)挤压连接杆(10)，连接杆(10)带动阀板(3)密封进气口(2)或者出气口(9)；在阀板(3)封堵进气口(2)或者出气口(9)之后，阀板(3)底部与阀体(1)底部之间存在间隙且阀芯架(11)底部与阀体(1)内的底部之间存在间隙。