[发明专利]一种化学放大型I线光刻胶及其制备与使用方法在审
| 申请号： | 202211718689.2 | 申请日： | 2022-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN116500859A | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 傅志伟;谈云龙;王德炜;潘新刚;梅崇余 | 申请（专利权）人： | 徐州博康信息化学品有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 张东梅 |
| 地址： | 221003 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种化学放大型I线光刻胶及其制备与使用方法，该光刻胶包括以下质量百分比的各组分：聚合物树脂，光刻胶的10～20％；光酸，聚合物树脂的2～10％；酸猝灭剂，光酸的8～30％；稳定剂，聚合物树脂的0.5～15％；流平剂，光刻胶的0.05～0.5％；溶剂，补足100％；其中，聚合物树脂为聚羟基苯乙烯类聚合物树脂。制备方法包括以下步骤：将化学放大型I线光刻胶的各组分按比例混合。使用方法包括以下步骤：将化学放大型I线光刻胶涂布在Si基材上，依次经过前烘、曝光、后烘和显影。本发明提供的光刻胶可以有效解决化学放大型I线光刻胶的能量稳定性问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 大型 光刻 及其 制备 使用方法 | ||
【主权项】：
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