[发明专利]一种化学放大型I线光刻胶及其制备与使用方法

权利要求书

1.一种化学放大型I线光刻胶，其特征在于，所述光刻胶包括以下质量百分比的各组分：

其中，所述聚合物树脂为聚羟基苯乙烯类聚合物树脂。

2.如权利要求1所述的化学放大型I线光刻胶，其特征在于，所述聚羟基苯乙烯类聚合物树脂包括第一聚羟基苯乙烯类聚合物树脂和第二聚羟基苯乙烯类聚合物树脂；

所述第一聚羟基苯乙烯类聚合物树脂为羟基苯乙烯化合物、苯乙烯化合物和丙烯酸叔丁酯化合物的共聚物；所述第二聚羟基苯乙烯类聚合物树脂为羟基苯乙烯化合物、苯乙烯化合物和对甲氧基苯乙烯化合物的共聚物。

3.如权利要求2所述的化学放大型I线光刻胶，其特征在于，所述第一聚羟基苯乙烯类聚合物树脂的质量为光刻胶的8～17.5％，所述第二聚羟基苯乙烯类聚合物树脂的质量为光刻胶的2～2.5％。

4.如权利要求2所述的化学放大型I线光刻胶，其特征在于，还包括如下技术特征中的至少一项：

a1)所述第一聚羟基苯乙烯类聚合物树脂重均分子量为15000～26000；

a2)所述第一聚羟基苯乙烯类聚合物树脂的分子量分布系数为PDI2.5；

a3)所述第一聚羟基苯乙烯类聚合物树脂由如下摩尔比的各组分共聚得到：

羟基苯乙烯化合物 50～70％；

苯乙烯化合物 10～30％；

丙烯酸叔丁酯化合物补足100％；

a4)所述第二聚羟基苯乙烯类聚合物树脂的重均分子量为8000～15000；

a5)所述第二聚羟基苯乙烯类聚合物树脂的分子量分布系数为PDI2.5；

a6)所述第二聚羟基苯乙烯类聚合物树脂由如下摩尔比的各组分共聚得到：

羟基苯乙烯化合物 60～80％；

苯乙烯化合物 5～15％；

对甲氧基苯乙烯化合物 补足100％。

5.如权利要求1所述的化学放大型I线光刻胶，其特征在于，所述光刻胶还包括如下技术特征中的至少一项：

b1)所述光酸选自离子型光酸或非离子型光酸中的至少一种；

b2)所述酸猝灭剂选自三乙醇胺、四丁基氢氧化铵、三(3,6二氧杂庚基)胺、三辛胺、三异丙醇胺、三乙烯二胺、2-乙基-N,N-双(2-乙己基)-1-己胺、2-苯基苯并咪唑或二苯胺中的至少一种；

b3)所述稳定剂选自抗氧化剂中的至少一种；

b4)所述流平剂选自3M氟碳表面活性剂FC-4430或特洛伊Troysol S366中的至少一种；

b5)所述溶剂选自丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇甲醚、乳酸乙酯、苯甲醚、丙二醇单醋酸酯、丙二醇单乙醚、二缩乙二醇甲醚、二缩乙二醇乙醚、二缩乙二醇甲乙醚、醋酸丁酯、醋酸新戊酯、甲基乙基酮、甲基异丁基酮、环戊酮、环己酮、双丙酮醇或γ-丁内脂中的至少一种。