[发明专利]压力传感器芯体及其制作方法在审
| 申请号： | 202211672840.3 | 申请日： | 2022-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN116124350A | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 谭佳欢 | 申请（专利权）人： | 中航光电华亿（沈阳）电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L19/04;G01L19/06 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 汪喆 |
| 地址： | 110000 辽宁省沈阳市经*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种压力传感器芯体及其制作方法，涉及压力敏感元件技术领域，以在一定程度上解决现有平膜压力传感器存在的制造成本高、工艺复杂、长期稳定性差以及温度漂移大的问题。本发明提供的压力传感器芯体,包括弹性基体、弹性梁支架以及压力敏感组件；弹性基体的感压侧形成有感压膜片，弹性基体的背压侧，且沿弹性基体的径向由内向外依次形成有第一凸部和第二凸部；弹性梁支架对应第一凸部形成有第一对位部，对应第二凸部形成有第二对位部，第一凸部与第一对位部对位连接，第二凸部与第二对位部对位连接；压力敏感组件包括压力敏感元件，压力敏感元件设置于弹性梁支架背离弹性基体的一侧。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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