[发明专利]一种具有角振动滤波特性的MEMS结构在审
| 申请号： | 202211664574.X | 申请日： | 2022-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN115724395A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 韦宇旻 | 申请（专利权）人： | 广东天目智芯传感科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京一枝笔知识产权代理事务所(普通合伙) 11791 | 代理人： | 方柳云 |
| 地址： | 528400 广东省中山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有角振动滤波特性的MEMS结构，包括陶瓷管壳、转接板、传感器芯片和胶水，所述转接板的底部固定安装在陶瓷管壳上，所述传感器芯片固定安装在转接板的中部。通过在外框与中心粘片板之间设置直角梁，使得外框在受到封装应力发生形变时，会将力度传递至直角梁上，此时直角梁发生形变，将力度削减，使其不会传递至中心粘片板上，从而保证中心粘片板的稳定，因此通过胶水粘贴在中心粘片板上的传感器芯片不会发生形变，从而隔绝了封装应力对传感器芯片的影响，另外当发生平面内旋转和角振动时，同样利用直角梁发生形变阻断高频角振动，因此，直角梁可以起到应力隔离以及角振动滤波的作用，保证传感器芯片的稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有角 振动 滤波 特性 mems 结构 | ||
【主权项】：
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