[发明专利]一种具有角振动滤波特性的MEMS结构在审
| 申请号： | 202211664574.X | 申请日： | 2022-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN115724395A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 韦宇旻 | 申请（专利权）人： | 广东天目智芯传感科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京一枝笔知识产权代理事务所(普通合伙) 11791 | 代理人： | 方柳云 |
| 地址： | 528400 广东省中山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 有角 振动 滤波 特性 mems 结构 | ||
1.一种具有角振动滤波特性的MEMS结构，包括陶瓷管壳(100)、转接板(200)、传感器芯片(300)和胶水(400)，其特征在于，所述转接板(200)的底部固定安装在陶瓷管壳(100)上，所述传感器芯片(300)固定安装在转接板(200)的中部，且转接板(200)与陶瓷管壳(100)以及传感器芯片(300)之间的连接通过胶水(400)实现；
所述转接板(200)包括外框(210)、固定在外框(210)四角用于连接陶瓷管壳(100)的凸台(220)、安装在外框(210)中部镂空位置的直角梁(230)、连接在直角梁(230)另一端的中心粘片板(240)，所述中心粘片板(240)上固定安装有传感器芯片(300)。
2.根据权利要求1所述的一种具有角振动滤波特性的MEMS结构，其特征在于，所述转接板(200)的材质为硅、玻璃或是陶瓷等热膨胀系数相似的材质其中之一，且转接板(200)位于传感器芯片(300)与陶瓷管壳(100)之间的位置。
3.根据权利要求1所述的一种具有角振动滤波特性的MEMS结构，其特征在于，所述中心粘片板(240)和凸台(220)上都设置有粘胶锚点，所述粘胶锚点用于涂布胶水(400)。
4.根据权利要求1所述的一种具有角振动滤波特性的MEMS结构，其特征在于，所述直角梁(230)的形状为直角“Z”形，且直角梁(230)的数量为八个并呈圆环状固定在外框(210)与中心粘片板(240)之间。
5.根据权利要求1所述的一种具有角振动滤波特性的MEMS结构，其特征在于，所述外框(210)的形状为正方形，且外框(210)的中部镂空有圆形的通孔，所述中心粘片板(240)的形状为圆形且与外框(210)中部的圆形通孔呈同心圆设置。
6.根据权利要求1所述的一种具有角振动滤波特性的MEMS结构，其特征在于，所述陶瓷管壳(100)的尺寸大于转接板(200)和传感器芯片(300)的尺寸，且陶瓷管壳(100)、转接板(200)和传感器芯片(300)中心点位于同一直线上。
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