[发明专利]共源共栅的多层氮化镓HEMT器件及芯片在审

专利信息
申请号: 202211659001.8 申请日: 2022-12-22
公开(公告)号: CN116190440A 公开(公告)日: 2023-05-30
发明(设计)人: 吴龙江 申请(专利权)人: 深圳天狼芯半导体有限公司
主分类号: H01L29/778 分类号: H01L29/778;H01L29/10;H01L29/423
代理公司: 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 代理人: 阳方玉
地址: 518000 广东省深圳市南山区粤海街道高新区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请涉及一种共源共栅的多层氮化镓HEMT器件及芯片。多层氮化镓HEMT器件包括:半导体衬底、缓冲层、多层第一氮化镓通道层、多层第二氮化镓通道层、鳍片、漏极、源极、第一栅极和第二栅极。本申请通过将第二栅极与源极连接,可以形成共源共栅结构,第二栅极与多层第二氮化镓通道层构造出的类似于常开型HEMT器件的开关结构可以代替鳍片承受部分高电压,由于鳍片的耐高压能力与导通电阻的大小呈正比例关系,因此通过常开型HEMT器件进行分压可以在保持鳍片的低导通电阻的情况下,增大整个器件耐高压能力。
搜索关键词: 共源共栅 多层 氮化 hemt 器件 芯片
【主权项】:
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