[发明专利]一种低成本非掺杂异质结晶体硅太阳能电池及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202211624308.4 申请日: 2022-12-16
公开(公告)号: CN115985993A 公开(公告)日: 2023-04-18
发明(设计)人: 黄仕华;骆芸尔;李林华 申请(专利权)人: 浙江师范大学
主分类号: H01L31/0745 分类号: H01L31/0745;H01L31/18;C23C16/40;C23C16/505;C23C16/56;C23C14/24;C23C14/16;C23C14/35;C23C14/08;C23C28/00
代理公司: 杭州之江专利事务所(普通合伙) 33216 代理人: 朱枫
地址: 321004 *** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种低成本的非掺杂异质结晶体硅太阳能电池及其制备方法,所用的生长设备包括混气室和反应腔体,生长源溶液通过蒸发器蒸发并采用氢气携带的方式进入混气室,然后进入反应腔体,反应腔体内设有上下两个金属网格电极,射频电压加在上下两个金属网格电极之间。电池具备Ag/ITO/Mnz1MoOy2/MoOy1/SiOp/p‑c‑Si/SiOp/TiOx1/Mnz2TiOx2/Ca/Al的结构。本发明能提高氧化钛或氧化钼薄膜对晶体硅的钝化效果,且制备过程中大幅降低了等离子对薄膜的轰击,提升了薄膜的钝化性能。
搜索关键词: 一种 低成本 掺杂 结晶体 太阳能电池 及其 制备 方法
【主权项】:
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