[发明专利]有机硅组合物及其应用有效
| 申请号： | 202211462774.7 | 申请日： | 2022-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN115572307B | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 杨敏;陈德义;宛志文;陆平;茅炳荣;袁磊 | 申请（专利权）人： | 江苏南大光电材料股份有限公司;南大光电半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C07F7/18 | 分类号： | C07F7/18;C07F7/20;C08J5/18;C08L83/04 |
| 代理公司： | 苏州新知行知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32414 | 代理人： | 郑丽玲 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种有机硅组合物，其包含：二乙氧基甲基硅烷；第一浓度的溶解的残留无机氯和有机氯；第二浓度的乙醇；以及第三浓度的副产物（杂质）；其中第一浓度定义为所述有机硅组合物在全消解情况下获得的所有存在的氯元素的浓度的总和。本发明的有机硅组合物，引进了副产物（杂质）的概念，对产品的品质管控有关键作用，同时无机氯和有机氯及乙醇的残留很低，尤其是无机氯的残留极少，因而二乙氧基甲基硅烷的品质稳定，当应用于半导体器件中，例如在制备各类低介电常数薄膜时，该低介电常数薄膜的介电常数小于或等于3.5，性能稳定可控，优于现有的有机硅组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 有机硅 组合 及其 应用 | ||
【主权项】：
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