[发明专利]一种微波等离子体化学气相沉积装置

摘要

本发明公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括依次连接的微波发生器、隔离器、三销钉微波调谐器、微波模式转换器与短路活塞，所述微波模式转换器上设有伸入微波腔体且与石英窗口上方对应的微波天线与上冷却风入口，所述微波模式转换器的下方设有位于微波腔体内的石英窗口，所述微波腔体内的样品台上设有金属钼台，所述微波腔体上设有冷却水道。本发明采用上述结构的一种微波等离子体化学气相沉积装置，对腔体结构、石英窗口的密封结构与散热等方面进行改进，改善沉积生产出金刚石薄膜的产品质量。