[发明专利]一种微波等离子体化学气相沉积装置在审
申请号: | 202211436035.0 | 申请日: | 2022-11-16 |
公开(公告)号: | CN115852344A | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 康志文;蔡冰峰;郭康富 | 申请(专利权)人: | 武汉友美科自动化有限公司 |
主分类号: | C23C16/511 | 分类号: | C23C16/511;C23C16/27 |
代理公司: | 北京圣州专利代理事务所(普通合伙) 11818 | 代理人: | 李春 |
地址: | 430200 湖北省武汉市江夏区大桥*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 微波 等离子体 化学 沉积 装置 | ||
1.一种微波等离子体化学气相沉积装置,其特征在于:包括依次连接的微波发生器、隔离器、三销钉微波调谐器、微波模式转换器与短路活塞,所述微波模式转换器上设有伸入微波腔体且与石英窗口上方对应的微波天线与上冷却风入口,所述微波模式转换器的下方设有位于微波腔体内的石英窗口,所述微波腔体内的样品台上设有金属钼台,所述微波腔体上设有冷却水道。
2.根据权利要求1所述的一种微波等离子体化学气相沉积装置,其特征在于:所述冷却水道包括设置于微波腔体外侧下方的第一冷却水道与设置于微波腔体外侧上方的第二冷却水道,所述第二冷却水道位于石英窗口的下方,所述第一冷却水道连接第一进出水口,所述第二冷却水道连接第二进出水口,所述第一冷却水道与所述第二冷却水道缠绕在微波腔体外侧且相连通。
3.根据权利要求2所述的一种微波等离子体化学气相沉积装置,其特征在于:所述冷却水道还包括设置于微波腔体底部的第三进出水口,所述第三进出水口与样品台下方的第三冷却水道相连通。
4.根据权利要求1所述的一种微波等离子体化学气相沉积装置,其特征在于:所述微波腔体内位于石英窗口的上方设有与上冷却风入口对应的排气孔。
5.根据权利要求1所述的一种微波等离子体化学气相沉积装置,其特征在于:所述微波腔体外侧上方设有冷却风罩与下冷却风入口,所述下冷却风入口与排气孔连通。
6.根据权利要求1所述的一种微波等离子体化学气相沉积装置,其特征在于:所述微波腔体位于石英窗口下方设有气体注入口,其底部的一侧设有排气口。
7.根据权利要求1所述的一种微波等离子体化学气相沉积装置,其特征在于:所述微波腔体表面设有不少于1个观察窗口。
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