[发明专利]一种钛铝钛蚀刻液及其制备方法在审
| 申请号： | 202211435518.9 | 申请日： | 2022-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN116103653A | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 王国洪;王润杰;许朱男;颜禧历 | 申请（专利权）人： | 苏州博洋化学股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/20 | 分类号： | C23F1/20;C23F1/26;C23F1/44 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 杨慧红 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及蚀刻液技术领域，公开一种钛铝钛蚀刻液，包括按质量百分比计的以下组分：0.5‑4.0％氟化铵；2‑10％双氧水；0.5‑4.0％高氯酸；1‑5％硝酸；0.05‑0.2％十二烷基苯磺酸纳；余量为纯水。本发明的钛铝钛蚀刻液在蚀刻钛铝钛金属层时，能够有效控制钛和铝的蚀刻速率，蚀刻线路均匀、无残留、无底切、无侧切，填补了市场上的空白，在半导体晶片蚀刻等领域具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钛铝钛 蚀刻 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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- 本发明涉及一种铝合金材料的表面处理方法及其应用。该处理工艺包括如下步骤：对所述待处理铝合金材料表面进行脱脂除油处理；对所述待处理铝合金材料表面进行预处理；对所述待处理铝合金材料表面进行抛光处理。采用上述铝合金材料的表面处理方法处理得到的铝合金材料的表面具有亮光的碎花花纹效果。
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