[发明专利]一种平面各向异性稀土基高频软磁薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202211382041.2 | 申请日： | 2022-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN115786853A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 潘丽宁;高玉;庄学恒;谭果果;满其奎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/18 | 分类号： | C23C14/18;C23C14/35;C23C14/58;H01F41/18;H01F1/147 |
| 代理公司： | 宁波市鄞州盛飞专利代理事务所(特殊普通合伙) 33243 | 代理人： | 洪珊珊 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明属于软磁薄膜材料技术领域，涉及一种平面各向异性稀土基高频软磁薄膜及其制备方法。所述稀土基高频软磁薄膜组成成分为RE |
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| 搜索关键词： | 一种 平面 各向异性 稀土 高频 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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