[发明专利]一种基于晶圆传输过程的图像信息的位置监测系统

摘要

本发明提供一种基于晶圆传输过程的图像信息的位置监测系统，涉及晶圆传输监测技术领域，所述位置监测系统包括单片位置采集模块、多片位置采集模块以及监测分析模块；所述单片位置监测模块用于对单片晶圆的位置图像进行采集；所述多片位置监测模块用于对多片晶圆的位置图像进行采集；所述监测分析模块用于对单片位置采集模块和多片位置采集模块获取到的图像信息进行分析，得到晶圆的位置信息；本发明通过对单片晶圆和多片晶圆的放置位置进行监测，能够及时调整传输位置，降低生产误差以及传输过程的损坏，以解决现有的晶圆传输过程中的位置监测存在不足的问题。