[发明专利]一种底部抗反射涂层组合物及其用途有效
| 申请号： | 202211319214.6 | 申请日： | 2022-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN115725216B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 姚宇晨;李冰;李海波;李杰;陈昕;董栋;张宁 | 申请（专利权）人： | 北京科华微电子材料有限公司;上海彤程电子材料有限公司;彤程新材料集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;C09D133/14 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 高敏;王宇 |
| 地址： | 101312 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种底部抗反射涂层组合物及其用途，其中，底部抗反射涂层组合物不含小分子的交联剂、产酸剂，该底部抗反射涂层组合物含有丙烯酸树脂共聚物A和丙烯酸树脂共聚物B，能够引入含有可热交联的环氧基团和芳香胺基团，可以在热交联的过程中减少由于小分子气化‑重结晶导致的污染情况的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 底部 反射 涂层 组合 及其 用途 | ||
【主权项】：
暂无信息
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