[发明专利]一种底部抗反射涂层组合物及其用途

权利要求书

1.一种底部抗反射涂层组合物，包括丙烯酸树脂共聚物A、丙烯酸树脂共聚物B、有机溶剂和表面活性剂，所述丙烯酸树脂共聚物A包括环氧基团A-1，所述丙烯酸树脂共聚物B包括苯胺基团B-1，所述有机溶剂的沸点为70℃～220℃：

其中，R₇选自-(CH₂)_m-，m为0～4的整数，*表示连接位点；

基于所述底部抗反射涂层组合物的总质量，所述丙烯酸树脂共聚物A的质量百分含量为1％～5％，所述丙烯酸树脂共聚物B的质量百分含量为1％～5％，所述有机溶剂的质量百分含量为90％～98％，所述表面活性剂的质量百分含量为0％～0.5％。

2.根据权利要求1所述的底部抗反射涂层组合物，其中，所述丙烯酸树脂共聚物A的结构式如下：

其中，R₁选自苯甲基、萘甲基或蒽甲基；

R₂为-(CH₂)_n-，n为0～4的整数；

R₃选自甲基、乙基或丙基；

R₄、R₅和R₆各自独立地选自氢原子或甲基；

以x、y和z的总和为基准，x为10％～50％，y为30％～70％，z为5％～20％；

所述丙烯酸树脂共聚物A的重均分子质量M_wA为10000～100000。

3.根据权利要求2所述的底部抗反射涂层组合物，其中，以x、y和z的总和为基准，x为20％～40％，y为40％～70％，z为5％～20％。

4.根据权利要求2所述的底部抗反射涂层组合物，其中，所述丙烯酸树脂共聚物A的重均分子质量M_wA为10000～30000。

5.根据权利要求1所述的底部抗反射涂层组合物，其中，所述丙烯酸树脂共聚物B的结构式如下：

其中，R₈选自苯甲基、萘甲基或蒽甲基；

R₁₀选自甲基、乙基或丙基；

R₁₁、R₁₂和R₁₃各自独立地选自氢原子或甲基；

R₉选自-(CH₂)_m-；

以u、v和w的总和为基准，u为10％～50％，v为30％～70％，w为5％～20％；

所述丙烯酸树脂共聚物B的重均分子质量M_wB为10000～100000。

6.根据权利要求5所述的底部抗反射涂层组合物，其中，以u、v和w的总和为基准，u为20％～40％，v为40％～70％，w为5％～20％。

7.根据权利要求5所述的底部抗反射涂层组合物，其中，所述丙烯酸树脂共聚物B的重均分子质量M_wB为10000～30000。

8.根据权利要求1所述的底部抗反射涂层组合物，其中，所述有机溶剂选自丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇单甲醚、环己酮、乳酸乙酯、γ-丁内酯、N-甲基甲酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、二甲基亚砜、苄基乙基醚、正己醚、己二酮、异佛尔酮、正己酸、正辛酸、正辛醇、1-壬醇、苯甲醇、乙酸苄酯、苯甲酸乙酯、乙二酸二乙酯、马来酸二乙酯、碳酸乙烯酯、碳酸丙烯酯、2-苯氧基乙酸乙酯中的至少一种。

9.根据权利要求1所述的底部抗反射涂层组合物，其中，所述表面活性剂选自PF6320、BYK-388、BYK-307、BYK-310、BYK-320、BYK-323、Pluronic-25R2、Pluronic-L92、SilwetL7604、Silwet L7608、FC-135、FC-170C、FC-430、FC-431中的至少一种。