[发明专利]一种半导体加工设备上安装的报警装置

摘要

本发明提供一种半导体加工设备上安装的报警装置，涉及报警设备领域，包括安装部件；所述安装部件固定在设备主体的前端面上，安装部件上铰接安装有摆动部件，过最外端的安装部件接通，安装部件上安装有多组摆动部件，每组摆动部件对应不同设备主体的机位编号，警示部件内能够更换调节机位好，若某处摆动部件发生损坏，直接更换摆动部件的警示部件，让良好的摆动部件带动警示部件进行使用，摆动部件具有摆动结构，使得摆动部件显著的将警示作用提高，现有报警设备无法统一对整排或所有设备显示，造成报警后难以确定问题设备位置，普通设备上的报警装置无法从外部观测，造成无法及时发现报警设备的问题。