[发明专利]一种半导体加工设备上安装的报警装置

说明书

本发明提供一种半导体加工设备上安装的报警装置，涉及报警设备领域，包括安装部件；所述安装部件固定在设备主体的前端面上，安装部件上铰接安装有摆动部件，过最外端的安装部件接通，安装部件上安装有多组摆动部件，每组摆动部件对应不同设备主体的机位编号，警示部件内能够更换调节机位好，若某处摆动部件发生损坏，直接更换摆动部件的警示部件，让良好的摆动部件带动警示部件进行使用，摆动部件具有摆动结构，使得摆动部件显著的将警示作用提高，现有报警设备无法统一对整排或所有设备显示，造成报警后难以确定问题设备位置，普通设备上的报警装置无法从外部观测，造成无法及时发现报警设备的问题。

技术领域

本发明涉及报警设备技术领域，特别涉及一种半导体加工设备上安装的报警装置。

背景技术

随着人们生活条件的提高，在日常生活中逐渐的依赖较多的电子设备，电子设备是由多种电子元件组成，其中关键的是由硅片光刻制成的处理器，处理器属于半导体的高科技部件，现有量产半导体高精度光刻技术，已经达到两纳米的制程工艺，让处理器带来了更加高效的性能。

一些类似的半导体生产设备，通常直接呈阵列方式排列，生产半导体工件时处于靠内端的设备若发生报警，外部人员难以快速的察觉，造成无法及时对设备进行检修与复位等操作，影响设备的正常使用，同时设置在一处的报警装置，无法确定报警设备的位置，造成工作量加重的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种半导体加工设备上安装的报警装置，以解决现有报警设备无法统一对整排或所有设备显示，造成报警后难以确定问题设备位置，普通设备上的报警装置无法从外部观测，造成无法及时发现报警设备的问题。

本发明提供了一种半导体加工设备上安装的报警装置，具体包括：安装部件；所述安装部件固定在设备主体的前端面上，安装部件的安装板呈长板状结构，安装板上下边沿处设置有卡接头，卡接头呈“T”状结构，卡接头处卡接固定有固定板，安装部件上铰接安装有摆动部件，摆动部件上滑动卡接有警示部件，安装部件上设置有复位部件，安装部件的复位部件处滑动安装有连接部件，连接部件末端连接在摆动部件上，安装部件的外边沿处固定有波动部件，波动部件与安装部件之间靠近复位部件处安装有卡接部件。

进一步的，所述固定板上开设有四组固定槽，每组固定槽他头部均设置有圆槽，固定槽处设置有倒角，固定板的固定槽头部处固定有四组螺栓。

进一步的，所述摆动部件的摆动板为矩形板结构，摆动板铰接安装在安装板的前端面，摆动板设置为竖向阵列排布，摆动板的外壁设置有警示面，警示面设置为凹面结构。

进一步的，所述警示部件的警示板上下边沿设置有导向条，警示板通过导向条滑动安装在摆动板上，摆动板内壁与警示板接触的位置设置有接触块，接触块采用金属的导电材质。

进一步的，所述警示板上设置有三组警示槽，警示槽上能够显示指定数字，警示板外端边沿处设置有凸出柱。

进一步的，所述连接部件的连接杆设置为长杆结构，连接杆铰接安装在摆动板的背面，连接杆另一端连接在连接块上，连接块固定在复位部件上，连接部件的整体设置为上下的两组。

进一步的，所述复位部件的滑动槽设置在安装板的背面位置，滑动槽上滑动安装有滑动块，滑动块与连接块相互固定，滑动块左侧位置设置有拉簧。

进一步的，所述卡接部件的固定块设置在滑动槽的右侧位置，固定块左侧上下端安装有内卡块，内卡块上设置有三组安装槽，内卡块的外端位置设置有倒角，两组内卡块右侧滑动安装有触动块，触动块与内卡块接触位置设置为三角块结构。

进一步的，所述波动部件的外板条设置为长条状结构，外板条与安装板之间的卡接部件处安装有动力电机，每组动力电机上均安装有偏心块，偏心块与触动块相互平行。

有益效果