[发明专利]一种半导体加工设备上安装的报警装置

权利要求书

1.一种半导体加工设备上安装的报警装置，其特征在于，包括：安装部件（1）；所述安装部件（1）固定在设备主体（8）的前端面上，安装部件（1）的安装板（101）呈长板状结构，安装板（101）上下边沿处设置有卡接头（102），卡接头（102）呈“T”状结构，卡接头（102）处卡接固定有固定板（103），固定板（103）上开设有四组固定槽（104），每组固定槽（104）头部均设置有圆槽，固定槽（104）处设置有倒角，固定板（103）的固定槽（104）头部处固定有四组螺栓，安装部件（1）上铰接安装有摆动部件（2），摆动部件（2）的摆动板（201）为矩形板结构，摆动板（201）铰接安装在安装板（101）的前端面，摆动板（201）设置为竖向阵列排布，摆动板（201）的外壁设置有警示面（202），警示面（202）设置为凹面结构，摆动部件（2）上滑动卡接有警示部件（3），警示部件（3）的警示板（301）上下边沿设置有导向条，警示板（301）通过导向条滑动安装在摆动板（201）上，摆动板（201）内壁与警示板（301）接触的位置设置有接触块（302），接触块（302）采用金属的导电材质，警示板（301）上设置有三组警示槽（303），警示槽（303）上能够显示指定数字，警示板（301）外端边沿处设置有凸出柱（304），安装部件（1）上设置有复位部件（5），安装部件（1）的复位部件（5）处滑动安装有连接部件（4），连接部件（4）的连接杆（401）设置为长杆结构，连接杆（401）铰接安装在摆动板（201）的背面，连接杆（401）另一端连接在连接块（402）上，连接块（402）固定在复位部件（5）上，连接部件（4）的整体设置为上下的两组，连接部件（4）末端连接在摆动部件（2）上，安装部件（1）的外边沿处固定有波动部件（7），波动部件（7）与安装部件（1）之间靠近复位部件（5）处安装有卡接部件（6）。

2.如权利要求1所述一种半导体加工设备上安装的报警装置，其特征在于：所述复位部件（5）的滑动槽（501）设置在安装板（101）的背面位置，滑动槽（501）上滑动安装有滑动块（503），滑动块（503）与连接块（402）相互固定，滑动块（503）左侧位置设置有拉簧（502）。

3.如权利要求1所述一种半导体加工设备上安装的报警装置，其特征在于：所述卡接部件（6）的固定块（601）设置在滑动槽（501）的右侧位置，固定块（601）左侧上下端安装有内卡块（602），内卡块（602）上设置有三组安装槽（603），内卡块（602）的外端位置设置有倒角，两组内卡块（602）右侧滑动安装有触动块（604），触动块（604）与内卡块（602）接触位置设置为三角块结构。

4.如权利要求3所述一种半导体加工设备上安装的报警装置，其特征在于：所述波动部件（7）的外板条（701）设置为长条状结构，外板条（701）与安装板（101）之间的卡接部件（6）处安装有动力电机（702），每组动力电机（702）上均安装有偏心块（703），偏心块（703）与触动块（604）相互平行。